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穆文祥
副教授
所属院部:
新一代半导体材料集成攻关大平台
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科研项目
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高质量氧化镓薄膜外延中的缺陷控制 和电学性能调控基础研究
所属单位:
新一代半导体材料研究院
负责人姓名:
穆文祥
项目性质:
纵向
项目编号:
1AAD3F6562CF282AE063BE07C2CACCA3
立项时间:
2024-01-01
计划完成时间:
2026-12-31
结项日期:
2026-12-31
开始日期:
2024-01-01
项目批准号:
ZR2023ZD05-2
上一条:
高质量氧化镓薄膜外延中的缺陷控制和电学性能调控基础研究
下一条:
氧化镓外延薄膜装备及薄膜生长工艺研究
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