石英芯片制备工艺研究
发布时间：2024-04-16
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- 项目名称：
- 石英芯片制备工艺研究
- 所属单位：
- 集成电路学院
- 负责人姓名：
- 王卿璞
- 项目性质：
- 横向
- 项目编号：
- EF637AC831463165E053BE07C2CADB41
- 立项时间：
- 2022-12-15
- 计划完成时间：
- 2025-12-15
- 结项日期：
- 2025-12-15
- 开始日期：
- 2022-12-15
- 发布时间：
- 2024-04-16
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