Plasma工艺技术开发
发布时间：2024-06-04
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- 项目名称：
- Plasma工艺技术开发
- 所属单位：
- 集成电路学院
- 负责人姓名：
- 贾磊
- 项目性质：
- 横向
- 项目编号：
- 43732DBB2BC54BDDBCC631009A8B0BDB
- 立项时间：
- 2023-09-01
- 计划完成时间：
- 2024-12-31
- 结项日期：
- 2024-12-31
- 开始日期：
- 2023-09-01
- 发布时间：
- 2024-06-04
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