科研项目
(包干项目)含氟金属氧化锆光刻胶的控制合成与光刻性能研究
发布时间:2025-03-18
  • 所属单位:
    国家胶体材料工程技术研究中心
  • 负责人姓名:
    王倩倩
  • 项目性质:
    纵向
  • 项目级别:
    省、部委级
  • 项目编号:
    29EB42BF2D931D50E063BE07C2CAAD58
  • 项目批准号:
    ZR2024QB117
  • 立项时间:
    2025-01-01
  • 计划完成时间:
    2027-12-31
  • 结项日期:
    2027-12-31
  • 开始日期:
    2025-01-01
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