论文成果
High patterning photosensitivity by a novel fluorinated copolymer formulated resist
发布时间:2024-05-25
  • 所属单位:
    国家胶体材料工程技术研究中心
  • 发表刊物:
    European Polymer Journal
  • 第一作者:
    郭雅娜
  • 论文编号:
    632A914D660F42579579A8D0504ACA08
  • 卷号:
    211
  • 期号:
  • 页面范围:
    113009
  • 字数:
    8000
  • 是否译文:
  • 发表时间:
    2024-05
版权所有   ©山东大学 地址:中国山东省济南市山大南路27号 邮编:250100 
查号台:(86)-0531-88395114
值班电话:(86)-0531-88364731 建设维护:山东大学信息化工作办公室