论文成果
Polymerizable Nonionic Perfluorinated Photoacid Generators for High-Resolution Lithography
发布时间:2024-09-26
  • 所属单位:
    国家胶体材料工程技术研究中心
  • 发表刊物:
    Small Methods
  • 第一作者:
    刘越
  • 论文编号:
    533736FE7D2B402691291006680EE4E5
  • 期号:
    2400112
  • 字数:
    8
  • 是否译文:
  • 发表时间:
    2024-09
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