高效精准可控的半导体膜状扩散源研发及产业化
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所属单位：集成电路学院
负责人姓名：王卿璞
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目编号：EFB1C2B9EFA95D60E053BE07C2CA55BE
项目批准号：2022TSGC1093
立项时间：2022-08-01
开始日期：2022-08-01
计划完成时间：2024-07-31
结项日期：2024-07-31
教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：山东大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：微电子学院
入职时间：1987-07-01
职务：院党委书记、副院长
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：高新区软件校区微电子学院3B202室
电子邮箱：wangqingpu@sdu.edu.cn
高效精准可控的半导体膜状扩散源研发及产业化
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所属单位：集成电路学院
负责人姓名：王卿璞
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目编号：EFB1C2B9EFA95D60E053BE07C2CA55BE
项目批准号：2022TSGC1093
立项时间：2022-08-01
开始日期：2022-08-01
计划完成时间：2024-07-31
结项日期：2024-07-31