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The Stripping Behavior of High-Dose Ion-Implanted Photoresists in Supercritical CO2 Formulations

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所属单位：物理学院

发表刊物：ECS J. Solid State Sci. & Tech.

全部作者：王卿璞

第一作者：李玉香

论文类型：应用研究

论文编号：lw-147347

卷号：2

期号：4

页面范围：N73

是否译文：否

发表时间：2013-01-29

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王卿璞 (教授)