High-dose ion-implanted photoresist stripping in environmentally benign supercritical CO2 nonfluorous surfactant microemulsions
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所属单位：物理学院
发表刊物：Microelectron. Eng.
全部作者：王卿璞
第一作者：李玉香
论文类型：应用研究
论文编号：lw-136618
卷号：96
页面范围：1
是否译文：否
发表时间：2012-08-01
发表时间：2012-08-01