High-dose ion-implanted photoresist stripping in environmentally benign supercritical CO2 nonfluorous surfactant microemulsions
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所属单位：集成电路学院
发表刊物：Microelectron. Eng.
全部作者：王卿璞,李玉香
第一作者：韩婷婷
论文编号：lw-136618
卷号：96
页面范围：1
字数：3800
是否译文：否
发表时间：2012-03-20
发表时间：2012-03-20