Extremely Sensitive Dependence of SnOx Film Properties on Sputtering Power
发布时间：2022-11-17 点击数：
所属单位：集成电路学院
论文名称：Extremely Sensitive Dependence of SnOx Film Properties on Sputtering Power
发表刊物：Scientific Reports
第一作者：李云鹏
论文编号：lw-180404
卷号：6
期号：1
页面范围：36183
字数：6000
是否译文：否
发表时间：2016-11