一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用
点击次数：
所属单位：物理学院
申请专利人：宋爱民,王卿璞
专利类型：发明
申请号：2015110256428
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2015-12-30
申请日期：2015-12-30
教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：山东大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：微电子学院
入职时间：1987-07-01
职务：院党委书记、副院长
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：高新区软件校区微电子学院3B202室
电子邮箱：wangqingpu@sdu.edu.cn
一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用
点击次数：
所属单位：物理学院
申请专利人：宋爱民,王卿璞
专利类型：发明
申请号：2015110256428
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2015-12-30
申请日期：2015-12-30