一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用
点击次数：
所属单位：物理学院
申请专利人：宋爱民,王卿璞
专利类型：发明
申请号：2015110286194
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2015-12-30
申请日期：2015-12-30
教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：山东大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：微电子学院
入职时间：1987-07-01
职务：院党委书记、副院长
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：高新区软件校区微电子学院3B202室
电子邮箱：wangqingpu@sdu.edu.cn
一种避免衬底或其上的材料受烘烤损坏的蒸发镀膜设备及应用
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所属单位：物理学院
申请专利人：宋爱民,王卿璞
专利类型：发明
申请号：2015110286194
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2015-12-30
申请日期：2015-12-30