Role of Oxygen Source on Buried Interfaces in Atomic-Layer-Deposited Ferroelectric Hafnia–Zirconia Thin Films.
发布时间：2026-04-01
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- 论文名称：
- Role of Oxygen Source on Buried Interfaces in Atomic-Layer-Deposited Ferroelectric Hafnia–Zirconia Thin Films.
- 发表刊物：
- ACS Applied Materials & Interfaces
- DOI码：
- 10.1021/acsami.2c11073
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2022-09
- 发布时间：
- 2026-04-01