一种高性能GaN MIS-HEMT的制备方法
点击次数:
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202310437073.6
发明人数:8
是否职务专利:否
申请日期:2023-04-18
公开日期:2024-02-02
授权日期:2024-02-02
公开日期:2024-02-02
申请日期:2023-04-18
授权日期:2024-02-02
一种高性能GaN MIS-HEMT的制备方法
点击次数:
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202310437073.6
发明人数:8
是否职务专利:否
申请日期:2023-04-18
公开日期:2024-02-02
授权日期:2024-02-02
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申请日期:2023-04-18
授权日期:2024-02-02