一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
点击次数：
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202110855731.4
发明人数：10
是否职务专利：否
申请日期：2021-07-28
公开日期：2024-03-22
授权日期：2024-03-22
公开日期：2024-03-22
申请日期：2021-07-28
授权日期：2024-03-22
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：山东大学
学历：研究生(博士后)
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2017-07-03
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：中心校区
联系方式：0531-88369697
电子邮箱：201799000033@sdu.edu.cn
一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
点击次数：
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202110855731.4
发明人数：10
是否职务专利：否
申请日期：2021-07-28
公开日期：2024-03-22
授权日期：2024-03-22
公开日期：2024-03-22
申请日期：2021-07-28
授权日期：2024-03-22