一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
发布时间：2024-10-17 点击数：
专利名称：一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202110855731.4
发明人数：10
是否职务专利：否
申请日期：2021-07-28
公开日期：2024-03-22
授权日期：2024-03-22
专利名称：一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202110855731.4
发明人数：10
是否职务专利：否
申请日期：2021-07-28
公开日期：2024-03-22
授权日期：2024-03-22