测量SiC MOSFET沟道近界面陷阱密度的方法
点击次数:
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202411603552.1
发明人数:5
是否职务专利:否
申请日期:2024-11-12
公开日期:2025-03-07
授权日期:2025-03-07
公开日期:2025-03-07
申请日期:2024-11-12
授权日期:2025-03-07
测量SiC MOSFET沟道近界面陷阱密度的方法
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所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202411603552.1
发明人数:5
是否职务专利:否
申请日期:2024-11-12
公开日期:2025-03-07
授权日期:2025-03-07
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申请日期:2024-11-12
授权日期:2025-03-07