杨春凤
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所属单位:机械工程学院
专利类型:实用新型
申请号:202123274445.3
发明人数:2
是否职务专利:否
申请日期:2021-12-23
公开日期:2022-05-24
授权日期:2022-05-24
上一条:一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置