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专利名称：一种用于金刚石线锯切割的多晶硅片表面磁力研磨装置

所属单位：机械工程学院

专利类型：实用新型

申请号：202123274296.0

发明人数：2

是否职务专利：否

申请日期：2021-12-23

公开日期：2022-05-24

授权日期：2022-05-24

发布时间：2022-07-14