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大容量高重频靶体重载机构防溅射单元研制

发布时间：2024-04-16| 点击次数：

项目名称：大容量高重频靶体重载机构防溅射单元研制

所属单位：机械工程学院

负责人姓名：闫鹏

项目性质：横向

项目编号：E89E1D215EDF1CC9E053BE07C2CA7AD2

立项时间：2022-06-25

计划完成时间：2024-06-30

结项日期：2024-06-30

开始日期：2022-06-25

发布时间：2024-04-16

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