所属单位：机械工程学院
负责人姓名：闫鹏
项目性质：横向
项目编号：E89E1D215EDF1CC9E053BE07C2CA7AD2
立项时间：2022/06/25
计划完成时间：2024/06/30
结项日期：2024/06/30
开始日期：2022/06/25
闫鹏教授
暂无内容
大容量高重频靶体重载机构防溅射单元研制
发布时间：2024/04/16|点击次数：
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- 10纳米样品台高精度控制系统
暂无内容
所属单位：机械工程学院
负责人姓名：闫鹏
项目性质：横向
项目编号：E89E1D215EDF1CC9E053BE07C2CA7AD2
立项时间：2022/06/25
计划完成时间：2024/06/30
结项日期：2024/06/30
开始日期：2022/06/25