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科研项目

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10纳米样品台高精度控制系统

发布时间：2024-04-16| 点击次数：

项目名称：10纳米样品台高精度控制系统

所属单位：机械工程学院

负责人姓名：闫鹏

项目性质：横向

项目编号：E6BAC321A7421C79E053BE07C2CA0FA2

立项时间：2022-07-01

计划完成时间：2025-06-30

结项日期：2025-06-30

开始日期：2022-07-01

发布时间：2024-04-16

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