所属单位：机械工程学院
负责人姓名：闫鹏
项目性质：横向
项目编号：E6BAC321A7421C79E053BE07C2CA0FA2
立项时间：2022/07/01
计划完成时间：2025/06/30
结项日期：2025/06/30
开始日期：2022/07/01
闫鹏教授
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10纳米样品台高精度控制系统
发布时间：2024/04/16|点击次数：
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- 大容量高重频靶体重载机构防溅射单元研制
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所属单位：机械工程学院
负责人姓名：闫鹏
项目性质：横向
项目编号：E6BAC321A7421C79E053BE07C2CA0FA2
立项时间：2022/07/01
计划完成时间：2025/06/30
结项日期：2025/06/30
开始日期：2022/07/01