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面向高分辨衍射成像的多运动轴纳米调姿与扫描系统设计与研制

发布时间：2024/07/25|点击次数：

所属单位：机械工程学院

负责人姓名：闫鹏

项目性质：横向

项目编号：1DCD59F4E76674F1E063BE07C2CA9D43

立项时间：2024/07/03

计划完成时间：2026/06/30

结项日期：2026/06/30

开始日期：2024/07/03

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面向空间复杂调姿和定位对准的微纳光机控制技术和成套运动模组
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光电器件超精密装配封装技术研究及其成套装备研发与应用（子课题5）

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