所属单位：材料科学与工程学院
论文名称：Low thermal budget lead zirconate titanate thick films integrated on Si for piezo-MEMS applications
发表刊物：Microelectronic Engineering
第一作者：欧阳俊
全部作者：闫静,闫鹏,欧阳俊
论文编号：F8B64D6C8D6C41D5BE6B205D238AE249
字数：6
是否译文：否
发表时间：2020-01
发布时间：2019-12-24