所属单位：材料科学与工程学院
论文名称：Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process
发表刊物：Materialia
全部作者：欧阳俊,闫静,闫鹏
第一作者：欧阳俊
论文类型：应用研究
论文编号：F03F8223187842FA8E030EC46C967D34
是否译文：否
发表时间：2019-03-01
闫鹏教授
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Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process
发布时间：2019-12-24|点击次数：