所属单位：材料科学与工程学院
论文名称：Large piezoelectricity on Si from highly (001)-oriented PZT thick films via a CMOS-compatible sputtering/RTP process
发表刊物：Materialia
第一作者：欧阳俊
全部作者：闫静,闫鹏,欧阳俊
论文编号：F03F8223187842FA8E030EC46C967D34
字数：10
是否译文：否
发表时间：2019-03
发布时间：2019-12-24