所属单位：机械工程学院
论文名称：Planar Motion Measurement of a Compliant Micro Stage: An Enhanced Microscopic Vision Approach
发表刊物：《IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT》
第一作者：苏高照
论文编号：824E62A851774C3DA342B788B5CEFAEA
卷号：69
期号：5
字数：5
是否译文：否
发表时间：2020-05-01