所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201410789125.7
发明人数：6
是否职务专利：否
申请日期：2014-12-17
公开日期：2017-10-13
授权日期：2014-12-17
闫鹏教授
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一种真空镀膜系统的样品室结构
发布时间：2018-12-06|点击次数：
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所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201410789125.7
发明人数：6
是否职务专利：否
申请日期：2014-12-17
公开日期：2017-10-13
授权日期：2014-12-17