所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201510289261.4
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2015-05-29
公开日期：2018-02-02
授权日期：2015-05-29
闫鹏教授
暂无内容
一种三自由度精密激光检测装置
发布时间：2018-12-06|点击次数：
- 上一条：
- 一种三自由度大行程柔性纳米定位平台
- 下一条：
- 一种真空镀膜系统的样品室结构
暂无内容
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201510289261.4
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2015-05-29
公开日期：2018-02-02
授权日期：2015-05-29