专利名称:一种三自由度大行程柔性纳米定位平台
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:201510287783.0
发明人数:6
是否职务专利:否
申请日期:2015-05-29
公开日期:2016-08-31
授权日期:2015-05-29
发布时间:2018-12-06
专利名称:一种三自由度大行程柔性纳米定位平台
所属单位:机械工程学院
专利类型:发明
申请号:201510287783.0
发明人数:6
是否职务专利:否
申请日期:2015-05-29
公开日期:2016-08-31
授权日期:2015-05-29
发布时间:2018-12-06