直写式真空镀膜设备中精密装置的结构设计与装配

发布时间:2019-01-26| 点击次数:

专利名称:直写式真空镀膜设备中精密装置的结构设计与装配

所属单位:机械工程学院

发明人数:1

是否职务专利:否

发布时间:2019-01-26