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闫鹏教授

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一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法

发布时间：2019-01-26|点击次数：

所属单位：机械工程学院

申请号：201811223380.X

发明人数：1

是否职务专利：否

申请日期：2018-10-19

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