所属单位：机械工程学院
申请号：201810844451.1
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-07-27
闫鹏教授
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输出恒力可调的零刚度柔性微夹钳
发布时间：2019-01-26|点击次数：
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- 一种真空镀膜系统的样品室结构
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是否职务专利：否
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