专利名称：一种高精度直写式真空镀膜设备及方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：2018111728839
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-09
公开日期：2020-01-24
授权日期：2020-01-24
发布时间：2019-04-15
闫鹏教授
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专利名称：一种高精度直写式真空镀膜设备及方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：2018111728839
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-09
公开日期：2020-01-24
授权日期：2020-01-24
发布时间：2019-04-15