所属单位：机械工程学院
申请专利人：闫鹏
专利类型：发明
申请号：2018111728839
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-09
公开日期：2020-01-24
授权日期：2020-01-24
闫鹏教授
暂无内容
一种高精度直写式真空镀膜设备及方法
发布时间：2019-04-15|点击次数：
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- 一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法
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所属单位：机械工程学院
申请专利人：闫鹏
专利类型：发明
申请号：2018111728839
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-09
公开日期：2020-01-24
授权日期：2020-01-24