专利名称：一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201811223380.X
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-19
发布时间：2019-04-15
闫鹏教授
暂无内容
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专利名称：一种多靶材真空镀膜装置及镀膜方法
所属单位：机械工程学院
专利类型：发明
申请号：201811223380.X
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2018-10-19
发布时间：2019-04-15