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专利名称：一种单晶硅微纳双尺度减反射绒面及其制备方法

所属单位：机械工程学院

专利类型：发明

申请号：202210697039.8

发明人数：7

是否职务专利：否

申请日期：2022-06-20

公开日期：2023-11-21

授权日期：2023-11-21

发布时间：2024-12-17