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专利名称：一种具有疏水性功能表面的单晶硅及其制备方法与应用

所属单位：机械工程学院

专利类型：发明

申请号：202210980509.1

发明人数：7

是否职务专利：否

申请日期：2022-08-16

公开日期：2024-05-28

授权日期：2024-05-28

发布时间：2024-12-31