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论文成果
An SOI-MEMS Acoustic Sensor Based on Optical Grating Interferometer
  • 所属单位：
    光学高等研究中心
  • 发表刊物：
    IEEE Sensors Journal
  • 第一作者：
    李炎
  • 论文编号：
    44763307705241C2B28090E801D8FE93
  • 期号：
    23
  • 字数：
    4
  • 是否译文：
    否
  • 发表时间：
    2023-01-27

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