专利
基于硅基光子芯片和MEMS衍射光栅的微型声学传感器
  • 所属单位:
    光学高等研究中心
  • 专利类型:
    发明
  • 申请号:
    202210239877.0
  • 发明人数:
    2
  • 是否职务专利:
  • 申请日期:
    2022-03-12
  • 公开日期:
    2023-04-11
  • 授权日期:
    2023-04-11

下一条:基于亚波长结构的宽带滤波型片上的光谱或频谱分析系统

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