所属单位：新一代半导体材料研究院
负责人姓名：韩吉胜
项目来源单位：2022年山东省重点研发计划（重大科技创新工程）
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目编号：E03790E5561435E9E053BE07C2CAD17B
项目批准号：2022CXGC010103-1
立项时间：2022-02-01
开始日期：2022-02-01
计划完成时间：2025-02-28
结项日期：2025-02-28