所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：韩吉胜

项目来源单位：2022年晶体国重基本业务费

项目性质：纵向

项目级别：学校级

项目编号：E31FB01A545F2FA4E053BE07C2CA7AD6

项目批准号：42580091012201

立项时间：2022-06-28

计划完成时间：2023-12-31

结项日期：2023-12-31

开始日期：2022-05-20