所属单位：新一代半导体材料研究院
负责人姓名：韩吉胜
项目来源单位：2022年晶体国重基本业务费
项目性质：纵向
项目级别：学校级
项目编号：E31FB01A545F2FA4E053BE07C2CA7AD6
项目批准号：42580091012201
立项时间：2022-06-28
开始日期：2022-05-20
计划完成时间：2023-12-31
结项日期：2023-12-31