所属单位：新一代半导体材料研究院
负责人姓名：韩吉胜
项目性质：横向
项目编号：FADB1D929A2C1181E053BE07C2CABA9A
立项时间：2023-04-03
开始日期：2023-04-03
计划完成时间：2023-11-30
结项日期：2023-11-30