所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202111558290.8
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2021-12-20
公开日期：2024-02-02
授权日期：2024-02-02
申请日期： 2021-12-20
公开日期： 2024-02-02
授权日期： 2024-02-02