所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202210196597.6
发明人数：8
是否职务专利：否
申请日期：2022-03-02
公开日期：2024-05-28
授权日期：2024-05-28
申请日期： 2022-03-02
公开日期： 2024-05-28
授权日期： 2024-05-28