所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202311623560.8
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2023-11-30
公开日期：2024-08-02
授权日期：2024-08-02
申请日期： 2023-11-30
公开日期： 2024-08-02
授权日期： 2024-08-02