所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202310696789.8
发明人数：8
是否职务专利：否
申请日期：2023-06-13
公开日期：2025-02-11
授权日期：2025-02-11
申请日期： 2023-06-13
公开日期： 2025-02-11
授权日期： 2025-02-11