所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202411603552.1
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2024-11-12
公开日期：2025-03-07
授权日期：2025-03-07
申请日期： 2024-11-12
公开日期： 2025-03-07
授权日期： 2025-03-07