所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202510251506.8
发明人数：4
是否职务专利：否
申请日期：2025-03-05
公开日期：2025-05-23
授权日期：2025-05-23
申请日期： 2025-03-05
公开日期： 2025-05-23
授权日期： 2025-05-23