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MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法

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专利名称：MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法
所属单位：控制科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：201910865799.3
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2019-09-12
公开日期：2022-02-08
授权日期：2022-02-08
发布时间：2022-09-15

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