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论文成果
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FBAR电极和压电薄膜制备工艺研究
发布时间：2024-01-09
点击次数：
所属单位：
集成电路学院
发表刊物：
《半导体技术》
论文编号：
273948CBD7C244CBBEC5D18AAEAD844C
卷号：
第 ４８ 卷
期号：
第 １２ 期
字数：
4800
是否译文：
否
发表时间：
2023-12-15
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关于InGaN/GaN多量子阱结构内量子效率的研究
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Research On Etching of Distributed Bragg Reflector
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