Research On Etching of Distributed Bragg Reflector
发布时间：2024-01-09
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 发表刊物：
- Journal of Physics: Conference Series
- 论文编号：
- 4F9A59CCAAA14192AFC1BB09DCDD0547
- 卷号：
- 2645
- 期号：
- 012005
- 页面范围：
- 1
- 字数：
- 2178
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2023-12-15