一种高迁移率铌掺杂氧化锡单晶薄膜的制备方法
点击次数:
所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:201710551026.9
发明人数:2
是否职务专利:否
申请日期:2017-07-07
公开日期:2019-10-01
授权日期:2019-10-01
公开日期:2019-10-01
申请日期:2017-07-07
授权日期:2019-10-01
一种高迁移率铌掺杂氧化锡单晶薄膜的制备方法
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所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:201710551026.9
发明人数:2
是否职务专利:否
申请日期:2017-07-07
公开日期:2019-10-01
授权日期:2019-10-01
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申请日期:2017-07-07
授权日期:2019-10-01